6月1日。
滨海电视台外景记者汪冰冰,带着摄制团队,来到滨海芯片有限公司。
公司总经理吴雪,随同介绍。
汪冰冰询问道:“吴总,你们公司的稳态微聚束(SSMB)极紫外光源设施,就是你在国际半导体论坛上,说的光刻机工厂吗?”
“没错!”
吴雪笑着点点头。
她带着汪冰冰等人,来到一处环形建筑前。
吴雪耐心介绍道:“你们眼前的环形建筑,就是稳态微聚束(SSMB)极紫外光源设施,项目总建筑面积为12.5万平方米,周长148米。
它主要包括直线加速器、波荡器、光束线、增强器、电子储存环、实验站等等。
位于源头的电子束,产生电子后,直线加速到接近光速,在波荡器里偏转发出SR。
电子束团震荡过后,变成微聚束,长度缩的很短,更加聚集,还有相干性。
通过增强器,功率指数增加至上限。
电子束团进入电子储存环后,引入激光调制系统,加上扭摆磁铁,横向纵向下手调制,巧妙地把电子束更加完美地聚集在一起。
不断绕圈之后,强光呈现出微态。
其特性,简单来说,就是微聚束的相干辐射发强光+存储环高重频。
稳态微聚束(SSMB)极紫外光源设施,发出的光源,相对好控制。
需要发出强光时,就让微聚束发出相干辐射,导出EUV光源进行光刻……”
汪冰冰一行人,边参观边听介绍。
当众人来到增强器隧道后。
他们一眼望去,能看到里面排布着许多五颜六色,形状各异的“大家伙”。
吴雪的声音,不断响起。
“你们看到的大家伙,其实是磁铁系统,主要控制着电子的方向。”
“红色长方体状磁铁是二极铁,可以让电子‘转弯’。”
“蓝色的磁铁是四极铁,可以把‘想往外跑’的电子拉回来。”
“整个增强器区域元件数量多,真空连接段众多,排列紧凑。”
“其中,弧区包含磁铁、真空和束测设备等132个预准直单元以及128块二极磁铁,直线节包括注入引出设备、高频、磁铁、真空和束测设备等……”
听到一系列的介绍。
汪冰冰等人,都不明觉厉的点点头。
她询问道:“吴总,目前科学界探索的EUV光刻机,主要有四种,分别是SSMB、LPP、SR、SRF-FEL。
荷国阿斯麦尔公司,采用的是LPP模式,最终产生13.5nm的EUV光源,做出了EUV光刻机。
SSMB模式相比LPP更进一步,被称为未来EUV光源,能够产生1nm以下电子束。”
“是的!”
吴雪点头道:“阿斯麦尔公司,为了出货到各地的晶圆厂,把光刻机做成小型化,而我们直接打造大型的光刻工厂。
我们建设的‘环形建筑’,直接让光‘跑’起来。
其产生的光源,通过不断的筛选,可以得到28nm、14nm、7nm、5nm、4nm、3nm、2nm、1nm等不同规格的光束。
目前,我们的光刻工厂,已经能达到稳态的高功率光源,可以将电子加速到接近光速,产生产生波长短、功率大的光源,来提升芯片的制程工艺。”
……
接下来。
吴雪带着汪冰冰等人,来到公司的芯片生产基地。
基地内,一条条硅晶圆生产线,井然有序的生产着。
吴雪介绍道:“芯片制造过程中,最核心的产品就是硅晶圆。
它们的纯度,决定着芯片制造工艺的先进水平。
公司10条硅晶圆生产线,覆盖了4英寸、6英寸、8英寸、18英寸等众多尺寸的晶圆产品,是全球实力最强的芯片生产基地之一。
各個尺寸的硅晶圆生产后。
我们会进行切片、清洗、涂膜、氧化等环节,再送进光刻工厂光刻。
光刻完毕后,我们再进行刻蚀、离子注入、金属化、测试、封装等等一体化流程,生产出最终的芯片。
不过……目前我们公司芯片生产数量有限。
平均每天只能生产16万颗高端芯片,每年生产高端芯片6000万颗。”
听到这话。
汪冰冰赞叹点头。
科技发展到今天。
任何电子产品,都离不开芯片。
普通电子产品里的芯片,根本不需要尖端光刻机,使用普通光刻机就行。
现在滨海芯片有限公司,拥有高端芯片制造工艺。
这无疑能够让夏国打破西方国家垄断,再也不用看他人脸色!
……
此时此刻。
吴雪感慨万千。
5月4日,她和丈夫李子铭,在魔都丽思卡尔顿酒店,举办了一场隆重的婚礼。
两天之后的家族聚会上。
爷爷李建国,宣布让她担任滨海芯片有限公司的总经理。
吴雪对此喜忧参半。
高兴的是,成为百